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突破芯片技术封锁!中国公司“喜提”两台核心机器

浏览次数:    时间:2018-05-21

近日,武汉天河机场迎来了一箱比黄金还要贵重的进口设备!

据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证实,长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元,约合人民币4.6亿元。

另据日经亚洲评论(Nikkei Asian Review)上周报道,中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

每经小编(微信号:nbdnews)注意到,荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。

▲法国研究所暗室中的小型曝光机(图片来源:维基百科guillom)

如今,中国两家企业先后订购了两台高端光刻机,总价值约12.3亿元人民币。据日经亚洲评论报道,阿斯麦公司有关人士否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻,强调对中国大陆客户一视同仁。

此外,阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

长江存储迎来第一台光刻机

2016年,紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储,注册资本额为人民币386亿元。长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一,被寄望推动中国半导体产业自主研发。

▲长江存储官网宣传片截图

据快科技等报道,长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计,可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。

目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。

根据官网资料,2016年底,国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设,2017年9月底提前封顶,2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

▲国家存储器基地项目芯片生产机安装仪式(图片来源:长江存储官网)

目前,长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产,不少产业链企业都拿到了样片测试,预计今年第四季度量产。同时,长江存储还在推进64层堆叠3D闪存,力争2019年底实现规模量产,将与世界领先水平差距缩短到2年之内。

中芯国际进军“7纳米”时代

每经小编(微信号:nbdnews)注意到,2000年成立的中芯国际(SMIC)总部位于上海。在港股上市的中芯国际据称是中国大陆规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业之一。

据日经亚洲评论报道,尽管中芯国际在这一市场仍落后于市场领先者两至三代技术,但是购买到目前世界最先进的EUV光刻机,彰显了其努力追赶的决心。

▲阿斯麦官网产品示意图

每经小编(微信号:nbdnews)了解到,EUV是目前世界上最昂贵也是最先进的芯片生产工具。小于5纳米的芯片晶圆,目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片,这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。

中芯国际这次引进的EUV光刻机预计将于2019年初交付。而在2017年3月,中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。

有芯片行业高管表示,

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光学研究机构人士表示,

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▲图片来源:摄图网(图文无关)

中芯国际2017年净利润为1.264亿美元,几乎全部用于这台光刻机的订购了。2018年一季度,中芯国际净利润为2937万美元。

中芯国际联合首席执行官赵海军在5月10日的财报电话会议上称,该公司将2018年芯片生产的全年资本支出从19亿美元上调至23亿美元。

光刻机:摩尔定律“守护神”

那么,这种无比金贵的光刻机,到底有什么样神奇的魔力呢?

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵,通常在3000万至5亿美元不等。

目前,虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争,但是阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。最新的两代高端光刻机领域,即浸入式(Immersion)和极紫外线式(EUV)光刻机,全部由阿斯麦掌握核心技术。

▲刻蚀后的晶圆(图片来源:维基百科)

光刻机的作用是扫描曝光芯片晶圆,刻蚀集成电路。精度越高的光刻机,能生产出纳米尺寸更小,功能更强大的芯片。

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